檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="拋光"
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LED在人們日常生活中的影響性是與日俱增,而藍寶石晶圓(Sapphire Wafer)與GaN之晶格相匹配性佳,故在LED中常使用藍寶石晶圓為磊晶鍍膜的承載板,然而由於藍寶石晶圓優異的材料機械性質,…
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化學機械平坦化/拋光(CMP)製程已被廣泛用於製造積體電路(IC)。為了使製造IC的成本降低,晶圓的尺寸越來越大,CMP製程就需要使用夠大的拋光墊。較大的拋光墊尺寸會導致在CMP製程中,拋光墊表面形…